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東北大学 学際科学フロンティア研究所 島津研究室
小間番号 : 8C-18

出展のみどころ

 原子拡散接合法は,我々が開発した室温接合技術です.半導体やセラミクスの同種/異種のウエハだけでなく,金属やセラミクスのブロック(基体),ポリマー等も室温で接合できます.
 この技術は,鏡面研磨したウエハや基体の接合面に,ナノメータの薄い金属薄膜をスパッタ法で形成し,この金属膜を使って真空中あるいは大気中で接合します.薄い金属薄膜を用いた真空中接合では,透明で電導性が無い接合界面が得られるため,高輝度光学部品や新機能デバイスの形成にも利用され始めています.
 接合サンプルやパネル展示(本接合技術を用いたデバイス形成研究や,共同研究先企業が製造している研究用・量産用の原子拡散接合装置の紹介等)と共に,技術相談も行っていますので,お気軽にお立ち寄りください.

 


原子拡散接合法による異種材料の室温接合

出展製品・技術

出展製品・技術カテゴリー

(1)AV家電向け
④主材料・絶縁材料、⑤機能材料・プロセス材料・資機材、⑥製造装置・設備

(2)通信機器向け
④主材料・絶縁材料、⑤機能材料・プロセス材料・資機材、⑥製造装置・設備

(3)コンピュータ及び情報端末向け
④主材料・絶縁材料、⑤機能材料・プロセス材料・資機材、⑥製造装置・設備

(5)医療機器向け
④主材料・絶縁材料、⑤機能材料・プロセス材料・資機材、⑥製造装置・設備

(6)車載向け
④主材料・絶縁材料、⑤機能材料・プロセス材料・資機材、⑥製造装置・設備

二ュースリリース

異種材料を室温で接合する!(協力企業が量産用装置の販売を開始)
180508 プレスリリース用資料(東北大 島津).pdf

※下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを⽬的に公開しています。
それ以外の⽬的(セールス等)で無断に使⽤・転載する事を固く禁じます。

連絡先情報

 

東北大学 学際科学フロンティア研究所 島津研究室

東北大学 学際科学フロンティア研究所 島津研究室

〒980-8577 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-3 東北大学 学際科学フロンティア研究所

TEL: 022-217-5494 FAX: 022-217-5486

Eメール : lab.shimatsu@fris.tohoku.ac.jp

URL : www.fris.tohoku.ac.jp/~shimatsu/

 

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